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产品展示
原装进口静电吸盘

静电吸盘 ESC

➣简单介绍:
所谓静电是在电气静止的状态下所产生的,在Plasma之类的导体中静电荷(+Charge)靠近时,便会拖曳导体中的阴电荷(-Charge),让导体表面产生电荷。静电吸盘是用静电来吸住晶片等其他材料

➣工作原理对比:
静电吸盘是通过给内部加电压产生静电来吸住对方
静电吸盘在真空环境下工作
空气吸盘是通过空气原理吸住对方
➣半导体制造装置上吸盘是单极性的,工作环境要求在
真空情况下!
静电吸盘广泛应用于半导体及显示屏幕制作装备中。



陶瓷静电吸盘(ESC)在刻蚀设备内部经长时间的电离子(PLAZMA)轰击,表面陶瓷层劣化,造成对晶圆表面划伤及吸力下降等问题。

本公司提供对劣化表面的与金属基材接合的陶瓷层进行剥离,再填充的维修服务。
同时将长时间使用的底座部分的附着物进行清洗去除,使静电吸盘可以达到长寿命,降低生产成本。

维修要点:
1. 表面陶瓷材料的剥离,再填充。
---表面粗糙度
---表面平坦度
2. ESC的漏气检查
---漏气时O型圈更换
3.金属箔材料与陶瓷的再接合,修复等。

几乎可以修复的任何机种及尺寸
尺寸12英寸盘,8英寸盘,6英寸盘

本公司代理原装进口各类半导体设备用真空静电吸盘,欢迎来电咨询:021-59241040


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